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产品系列
德国Kleindiek微操纵仪
德国Kleindiek Nanotechnik超微操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达,因此它**的特点是能够进行纳米级精确移动,在保证纳米级移动的同时其**的设计可以同时做到毫米级的移动范围,整个操纵装置全部由纳米马达驱动,从而保证了系统体积非常小,可以很容易地放入电子显微镜腔室内。
德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪有以下型号以适用于不同的环境: MM3A-LMP Micromanipulator for Light Microscopy
MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy
MM3A-UHV Micromanipulator for UHV
MM3A-LT Micromanipulator for low temperature
德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪MM3A-EM以其高精度、超灵活、易操作、小体积成为电子显微镜用户的得力助手,改变了电子显微镜只用于样品观察的传统,直接在样品室内操纵样品,由此衍生了许多丰富多彩的应用,使得对样品的研究更深一步。MM3A的移动范围是三维空间的,X、Y轴可作±120°摆动,Z轴可作12mm的伸长,整个空间的移动范围达到100立方厘米。系统驱动全部由压电陶瓷来实现,由此保证了Z轴每个步进的精度可达0.5nm,当采用快速移动模式时,速度可达到2mm/s,可以说是同时兼具了高精度和高效率,**的大行程设计,使得Z轴总行程可达到12mm,纳米级的移动精度、厘米级的移动范围是MM3A的**特点。
MM-3A-LS以其高稳定性、高精度、无漂移的鲜明特性,被广泛应用于生命科学领域的高灵敏膜电位测量领域。衍生产品MM3A-LMP与光学显微镜结合,被广泛应用于半导体的探针系统中,可适应45nm、65nm、90nm工艺的要求。
显微操纵仪的极细微的漂移都会影响到细胞膜电位的测量,这就要求显微操纵仪尽量能做到零漂移,德国Kleindiek Nanotechnik公司生产的MM3A很好地解决了漂移的问题,既使是长时间的测量也没有漂移的现象。MM3A体积相对传统的显微操纵仪而言小了很多,长度约60mm重约45g,这种设计保证了系统的稳定性并降低了系统噪音水平,震动几乎对MM3A不产生影响。采用磁性基座固定,MM3A可以方便地安装在载物台的任何地方。在操纵仪的前端有叉式的玻璃管夹持器,玻璃管的更换简单易操作。
MM3A-EM技术参数: |
Length / Width / Height 60/22/25 mm Operating range XY / Z 240°/12 mm Scan range X / Y / Z 20/15/1μm Max Speed XY / Z up to 10/ 2 mm/s Resolution X 10-7 rad (5 nm) Resolution Y 10-7 rad (3.5 nm) Resolution Z 0.25 nm Hysterisis deviation Z <200 nm Hysterisis Angle (α) Z <10° (0.2 rad) |
Lowest temp 273K Highest temp 353K Lowest pressure 10-7 mbar Holding force 1 N Holding torque 3 Nmm - 4 Nmm Lift Y 5g Signal resistance (probing) 7.0Ω Max voltage (probing) 100V ;Max current(probing)100mA |
德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪的突出特点: 纳米操纵精确度:安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X,Y方向*小移动距离为5nm,在Z方向*小移动距离为0.5nm。
快慢可调的操作速度:可以选择一个步进0.5nm,也可以选择**移动速度1cm/S。MM3A将大范围和超精细操作**地结合在一起。
紧凑的结构设计:MM3A体积小,可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统。 三维大空间操作范围:X、Y方向可以做240度的旋转,Z轴方向做12mm的伸长,MM3A可操作的空间范围**达100cm3。 几乎无漂移:我们曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放大100K条件下每隔一分钟拍一张照片,持续一小时后通过对照片的分析得出,在排除电镜电压不稳定因素外,MM3A几乎不产生漂移。 与电镜的连接:MM3A安装在加工好的平台上,该平台再固定在电镜的样品台上,整个安放过程十分方便,几分钟就可完成,不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封,不会影响电镜的真空。