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制样/消解设备
PLUTO-MH型等离子体表面处理系统
Pluto-30型等离子清洗机
PLUTO-M型等离子表面清洗机
Plasma Etch手持式大气等离子清洗笔
PE大气等离子清洗机
Plasma Etch PE75等离子清洗机
PE-200等离子清洗机
Plasma PE25等离子清洗机
PE-100实验室等离子表面处理机
透射电镜/扫描电镜(STM/TEM)专用等离子清洗器(机)
测量/计量仪器
Kosaka EC1650圆度仪
KOSAKA EC 500圆度仪
Kosaka DSF600粗糙度仪
SE600粗糙度仪
SE500粗糙度仪
KOSAKA LAB (表面粗糙度轮廓测定机)
KOSAKA接触式台阶仪ET150
光学仪器及设备
大样品台测量显微镜DX 6045 3D检测仪
电镜等离子清洗器Gentle Asher™, GA/GV
隔振平台
电镜手臂
显微镜精密温控加热台
分子生物学仪器
表面等离子共振显微镜SPRm 200
BI-4500高灵敏度表面等离子共振仪
BI-2500系列高灵敏度表面等离子共振仪
BI表面等离子共振仪-自动进样器
其他
微纳米机械操纵手臂
微纳米操纵手臂-微镊子
NGD-01型自动凝固点测定仪
试验机
T150 UTM纳米拉伸测试系统
清洗/消毒设备
PE等离子清洗机
实验室家具
防潮柜
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凯美特匀胶机
比表面积测定仪
iMicro微纳米压痕仪
测厚仪
KOSAKA LAB ET 4000台阶仪(探针接触式轮廓仪/微细形状测定机)
联系方式 |
产品系列
KOSAKA LAB ET 150 台阶仪
设备特点: KOSAKA ET150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 150配备了各种型号,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD原位采集设计,可直接观察到工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。
规格 一、測定工件:
1. **工件尺寸:φ160mm
2. **工件厚度:50mm
3. **工件重量:2kg
二、檢出器(pick up):
1. Z方向測定範圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 測定力:min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑:2 μm
5. 驅動方式:直動式
6. 再現性:1σ= 1nm
三、X 軸 (基準軸):
1. 移动量(**測長):100mm
2. 移動的真直度:0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度:0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm
四、Z軸:
1. 移动量:50mm
2. 移動速度:max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能:0.2μm
五、工件台:
1. 工件台尺寸:160mm
2. 機械手動倾斜: 1mm/150mm
六、工件觀察:max.110 倍(可選購其它高倍CCD)
七、床台:材質為花崗岩石
八、防振台(選購):地型或桌上型
九、電源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量: W494mm;D458mm;H610mm, 120kg (含防震台)